由於各個行業中產生的VOCs廢氣的性質千差萬別，而吸附法對廢氣中的粉塵、氣溶膠和一些引起吸附劑中毒的物質要求嚴格，因此廢氣的預處理係統對吸附設備影響巨大。

在工業VOCs廢氣中，通常含有少量的粉塵，但在有些工藝廢氣中粉塵含量會很高，在噴塗廢氣中則含有大量的漆霧。顆粒物等通常以氣溶膠的狀態存在。吸附係統對粉塵、漆霧和氣溶膠非常敏感，會嚴重影響吸附係統的穩定運行。因此，在廢氣進入吸附器之前必須將粉塵、漆霧處理幹淨，並對氣溶膠進行破壞。

目前在我國的一些吸附法淨化設備中，由於對廢氣的前處理重視不夠或者預處理設備使用不當，吸附器的效率很低，有些無法長時間使用。廢氣預處理工藝主要有幹法機械過濾和濕法噴淋吸收兩種工藝，也可以采用幹法和濕法結合的組合工藝。

在噴塗、製藥、精細化工、化纖生產等很多工藝所產生的混合廢氣中，往往含有一些高沸點的大分子化合物，如電器噴塗廢氣中的二甲基戊酮(沸點164℃)，被吸附樹脂吸附後難以脫附而造成吸附樹脂中毒。這些物質雖然含量不高，但被吸附後難以解吸從而在吸附劑中積累，吸附樹脂很快就會中毒失效。高沸點的大分子有機化合物在生產前端通過強化冷凝或采用活性碳/樹脂的預吸附裝置去除。一般預處理裝置的壓力損失不會超過1kPa，但采用布袋除塵器過濾時，壓力損失會超過1kPa。